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半导体加热
半导体加热场景
单晶硅生长工艺是将多晶硅原料转化为单晶硅的过程,常用的方法有直拉法(CZ 法)和区熔法(FZ 法)。直拉法采用电阻/射频加热,通过士0.5℃温控和亳秒级响应的0.1%精度电源保障热稳定;区熔法则利用高频感应(10-50kHz)产生15kW/cm?以上功率密度,双闭环控制维持土0,2mm熔区精度,驱动晶体以0.5-2mm/min稳定生长。两种工艺均通过精密能量控制实现硅原子有序排列,满足半导体级晶体质量需求。
半导体加热整流电源

产品严格遵循IEC60519-1《工业电热设备和电磁处理材料的安全性 第1部分:通用要求》及GB/T10067.410-2014《电热装置基本技术条件》及行业相关标准,具备多种主要功能,包括稳压运行、恒功率运行软起等,透热深度均匀,并辅助智能温控技术,为用户提供可靠的电力支持。标配PLC控制,触摸屏画面、可选配远程监控模块、专属报警装置等,我们公司拥有先进的技术路线,IGBT及MOSFET电源,碳化硅系列电源。为用户提供了多样化的选择,以适应不同行业和工艺的特殊要求。我司加热电源解决方案覆盖泛半导体、新材料及高端制造领域,为半导体单晶生长/外延、光伏铸锭/拉晶、光学晶体生长等工艺提供精准控温;在合成宝石(钻石、红宝石、蓝宝石)及航空航天高温合金单晶叶片制备中实现稳定加热;同时支撑超导材料合成加工,赋能行业创新,驱动产业升级。

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产品优势
采用智能控制算法与精密传感器,确保加热稳定均匀,提升产品品质及生产效率
高效能电路设计与功率元器件,实现高转换效率,降低能耗与使用成本
具备多重保护机制(过流/过压/短路/过热)的高可靠性设计,延长设备寿命并保障生产安全
宽幅电压输入适配各类电网环境,运行稳定性强
支持多行业定制开发,满足差异化工艺需求
智能控制系统兼容本地/远程双模操作,提升操控便利性
模块化结构设计简化维护流程,降低运维成本
技术参数
型号 参数
输入电压等级 三相380VAC±10%
输出电压范围 0-400V/0-250V(连续可调)
输出功率 60KW/100KW/200KW/300KW
输出频率 20kHz~400kHz
电源效率 ≥90%
功率因数 ≥0.93(满功率运行)
防护等级 IP54(防尘防水)
散热方式 水冷
注:如需更多定制参数,由专业团队为您精准匹配提供解决方案
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